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本廠廢氣處理設備主要由下列次系統所構成： 

1.除氮氧化物系統：

 採用選擇性非觸媒還原法，藉噴灑尿素溶液進入高溫的焚化爐內，去除燃燒過程產生的氮氧化物，並以煙道出口之氮氧化物濃度回授控制尿素溶液噴灑量，將氮氧化物排放濃度自動控制於100ppm以內。。

2.半乾式洗煙塔：

 噴灑再利用水以降低煙道廢氣體之溫度，並利用高速霧化轉輪將噴入之消石灰及活性碳乳泥霧化成細微顆粒，與煙道廢氣體充分混合，以消石灰中和燃燒過程產生之酸性氣體，並以活性碳吸附戴奧辛及重金屬等有害物質。

3.袋濾式集塵器：

 以每爐總數1184支濾袋過濾捕集反應灰及煙道廢氣體中之粉塵，將煙道出口之粒狀污染物控制在20mg/Nm3以下。

4.廢氣再加熱系統：

 可將空氣加熱至200℃後，引入煙囪與排放之廢氣混合以提昇整體廢氣溫度，避免大氣環境溫度較低時在煙囪出口處形成白煙。